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                產(chǎn)品中心
                
  
                

                


                

                
 
                
     
                
        首頁>產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體材料>晶圓制造材料
    
                
  
                

                

                


	

                

     
                

 	   
                
 	       
                
         
           黃光輔助材料
         
           底部抗反射涂層
         
           光刻膠
         
         
                
       
                

    
                  
    

    
                
            
        
                
					 
                
                飛凱材料DUV底部抗反射層材料，搭配合適厚度可以將Al、Cu、W、GaAs等襯底反射率降低到1%以下；具有良好的填隙能力以拓展工藝窗口，分別適用于各類KrF光刻制程。
                 
                
				
		       
                
            
                
      
                
      
   
                 



                
     
    
                
        
     
                 
     
                產(chǎn)品
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